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在真空PVD陽極氧化加工表面上進行清洗處理十分重要，它直接影響產品的質量。加工零件進入陽極氧化車間前，必須對其進行認真的鍍前清潔處理，表面污染來自工件在加工、輸送、包裝過程中粘附的各種塵埃、潤滑油、機油、拋光膏、油脂、汗漬等物質，為避免加工過程中出現不良現象，真空鍍加工廠家基本上可以采用去油或化學清洗的方法去除。

對于經清洗處理的清潔表面，不能存放在大氣環境中，應存放在密閉容器或清潔柜內，以減少灰塵污染。在剛氧化的鋁容器中儲存玻璃襯底，可以將烴類蒸汽的吸附降到低程度。由于這些容器對烴類的吸附優先。對高度不穩定、對水汽敏感的表面進行真空陽極氧化處理，一般應保存在真空干燥箱中。

采用真空PVD處理陽極氧化工藝可清除陽極氧化室內灰塵，并設置潔凈度高的工作間，保持室內高度清潔是陽極氧化工藝環境的基本要求。在空氣濕度大的地區，除鍍前對底板、真空室各部分進行仔細清洗外，還應進行烘烤除氣。為了防止油液進入真空室內，注意油液擴散泵的回流，對于高熱功率的擴散泵應采取防油措施。